飞秒激光切割结合微细电阻滑焊制备三维金属微结构的工艺过程主要包括:(1)通过三维建模软件对所需要的三维微结构进行建模，并通过切片软件将三维微结构模型进行逐层切片，获得每层二维结构的轮廓数据。(2)依照每层轮廓数据，飞秒激光在0Cr18Ni9不锈钢箔上进行切割获得二维金属微结构。(3)通过微细电阻滑焊的多次放电将多层二维金属微结构进行热扩散焊接，最终获得三维金属微结构。该工艺是以分层实体制造工艺(LOM)为基础，分为飞秒激光切割和电阻滑焊两个工位，因此将其命名为微型化双工位金属箔叠层制造方法 。

Micro-DLOM的具体工艺过程:(1)将模具基体安装于工作台夹具上，然后将工作台移动至电阻焊工位。在电阻焊工位通过点焊8个稳控点将钢箔固定在模具基体上，稳控点应尽量靠近飞秒激光切割的边缘，目的在于防止钢箔的水平窜动，提高水平尺寸精度;(2)将工作台移至飞秒激光工位，由聚焦后的飞秒激光束切割不锈钢箔，获得单层二维金属微结构。(3)通过胶带将飞秒激光切割所产生的废料粘除，而后钢箔和模具基体下降一个步距。该步距主要是由钢箔的厚度和钢箔之间的间隙所决定，考虑到钢箔的厚度为10μm，各层钢箔之间的间隙均值为10μm，因此该步距设为20μm。(4)钢箔和模具基体移动至电阻焊工位并重复上述工艺过程，逐渐获得初步叠层的三维微结构。(5)将初步叠层获得的三维微结构再次移动至电阻焊工位，利用微细电阻滑焊的多次放电将其进行焊接，最终实现钢箔之间的完全连接。上述工艺将多层二维微结构进行近似叠加拟合，从而获得所需的三维金属微结构。与UV-LIGA工艺相比，Micro-DLOM工艺可以加工出深宽比不受限制、具有复杂结构形式的微结构，并且单层钢箔越薄，成形精度也就越高;与用飞秒激光进行分层大面积逐行扫描烧蚀工艺相比，仅需切割每层二维结构的轮廓，成形效率大为提高 。