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伺服减速机行星齿轮传动装置的重量,一般情况下正比于齿轮的重量,而齿轮的重量与其材料和热处理硬度有很大关系。例如在相同功率下,渗碳淬火齿轮的重量将是调质齿轮重量的1/3左右。所以针对行星齿轮减速机的结构特点和齿轮的载荷性质,应该广泛采用硬齿面齿轮。获得硬齿面齿轮的热处理方法很多,如表面淬火,整体淬火、渗碳淬火、渗氮等,应根据行星齿轮减速机的特点考虑选定。