纳米粉体颗粒一般指一次颗粒(含有气孔率低的一种独立粒子)，可以是晶态，非晶和准晶态，可以是多晶体也可以是单晶体。
对于球形颗粒来说颗粒尺寸即指其直径。则对规则颗粒，尺寸的定义常为等当直径，如体积等当直径，摄影面积直径等。
下面介绍两种主要的测量方法:
透射电镜(TEM)法:拍摄多张纳米微粒图片，测量其等当半径，然后画出不同晶粒尺寸下的晶粒数分布图，将分布曲线中峰值的颗粒尺寸作为平均粒径。
X射线衍射线线宽法:测定的是晶粒尺寸而不是颗粒尺寸，由于晶粒的细小可以引起衍射线的宽化，其衍射线半强度的宽化度B与晶粒尺寸D关系可以用下式来表示:
B=0.89λ/D*角度的余弦 其中B=Bm-Bs，B只是晶粒细化引起的宽化
