真空干燥器由干燥柜、冷凝器与冷凝液收集器组成的冷凝系统与真空泵三部分组成。将湿物料置浅盘内，放到干燥柜的搁板上，加热蒸气由蒸气人口引入，通人夹层搁板内，冷凝水白干燥箱下部出口流出经冷凝管至冷凝液收集器中;冷凝系统通过管道与阀门与真空泵紧密相连，组成一个完整的密闭系统，使干燥操作连续进行。
目前，真空干燥的设备也随着现代机械制造技术以及电气技术的发展而不断更新，出现了真空盘式连续干燥机、双锥回转真空干燥机、真空耙式干燥机、板式真空干燥机、低温带式连续真空干燥机、连续式真空干燥机等多种形式的真空干燥设备。
