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本工艺有3至9个微波激发单位,根据被处理风量的不同数量不同,微波由于它的频率相对比较高,在纳秒的时间内有效作用于被处理空间(区域),由于微波的功率相对较小,因此在激发能力上也就是说电子的获能跃迁能力上有限,本设计只是把微波作为初频激发源,在处理过程中作为一种预激发能。由于微波的预激功能,极大的提高等离子体区,极板区的激发能力和处理效果,由于微波技术的运用,本工艺在同类设备的比较中显得设备精炼而效果优越。