低温等离子体发生单元，是继玻璃、陶瓷等硬质介电材料发生单元百年技术发展后的，一种全新的介电材料技术及发生单元介电技术。由于基础材料与核心技术方面的突破，在提高发生单元的可靠性、高效能，实现单元器件及大型机组设备的发展进程中，获得新路径。 介电材料，具有优良的电气性能、机械性能、耐温性、耐辐射性、电化学稳定性以及良好的阻燃性，在200℃的破坏性试验中连续工作。与传统硬质（玻璃、陶瓷等）介电材料不同，介电材料为0.18-0.20mm超薄的软质薄膜，收缩率130℃时≤1.0%，电损0.01~0.15，介质效率98%，具有较宽的动态高频特性，适合任意放电面积设计。
发生单元装置，由精度极高的冷却合金导体和膜精装而成。再经二次承压布气及双极冷却密封集成，加载高频高压电源进行电离工作。
发生单元参数
| 导体 | 高精度布气冷却合金导体 |
| 工艺间隙 | 0.18~0.20mm |
| 电离电压加载值 | 1600~3000VP-P |
| 功率密度加载值 | 30kw/m2 |
| 工作频率 | 6~21kHZ |
| 工作气压 | 0.10~0.30Mpa |
| 冷却方式 | 内极水冷外极风冷 |
| 工作温升 | 冷却水25℃时，介质极< 3℃，高压极< 10℃ |
| 比能 | 8.25kw·h/ kgO3 |
| 产率 | 580g/m2 |
| 转化率 | 11~16% |
| 浓度 | 100-350mg/l |
