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用调制参考波面使干涉条纹对探测器扫描来实现波面位相精密探测的仪器。以特外曼-格林型条纹扫描干涉仪为例。如图所示，该干涉仪参考波面的调制是通过压电晶体驱动参考反射镜来达到的。调制的干涉条纹被32×32二极管阵列所接收，用一台小型电子计算机及一系列外部设备对测量过程进行控制、计算及显示，完成对被测件(包括平面、球面及镜头)1024点的位相探测，测量精度可达/100。
