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条纹扫描干涉仪条纹扫描干涉仪的特点:①干涉系统本身的误差可用绝对校正法测出和存储，并在后续的波面测试中自动除去，因此降低了干涉系统各光学元件的加工要求。当要求测量精度为/100时,干涉系统的波面误差只要1就够了。②由于二极管阵列上光强以随机形式多次取样和平均，因此大气抖动、振动及热变形对测量精度的影响明显下降。
条纹扫描干涉仪的特点:①干涉系统本身的误差可用绝对校正法测出和存储，并在后续的波面测试中自动除去，因此降低了干涉系统各光学元件的加工要求。当要求测量精度为/100时,干涉系统的波面误差只要1就够了。②由于二极管阵列上光强以随机形式多次取样和平均，因此大气抖动、振动及热变形对测量精度的影响明显下降。
