固体扫描仪又称推帚式扫描仪，它是采用电磁耦合器件（CCD）制成探测元件，
构成的扫描成像传感器。它将许多探测元件按线性排列成与飞行器前进方向垂直的阵列，每排的探测元件数与扫描线的像元数相等，工作时探测元件输出的数据值，与其像元的亮度相对应，这样按线性阵列一个个顺序推帚式地取样，完成横向扫描。飞行器向前不断的移动，即可提供完成纵向移动，从而得到连续的扫描图像。固体扫描仪去除了复杂的机械扫描机构，每个探测器的几何位置都是精确确定的，提高了探测的精度和仪器的灵敏度及信噪比。例如：法国86年发射的SPOT卫星上安装了二台由CCD线阵列构成的高分辨率固体扫描仪（HRV），它采用四排阵列，每列1500个，总计6000个固体探测元件组成。地面分辨率较高，可达10米（全色波段）。
