用低气压等离子体处理金属或非金属固体表面。低气压等离子体中的高能电子以及与分子碰撞时产生的离子、自由基，激发态分子和原子都是一些活性粒子，它们能引起一些特殊的化学反应。例如，用等离子体法形成的聚合物薄膜，具有优良的机械、电气、化学特性。用有机硅单体在光学透镜表面沉积10微米的薄层，可改善透镜的抗划痕性和反射指数。用等离子体处理聚酯织物，可以改变表面浸润性。对塑料表面进行处理或聚合膜层，可以改善表面粘性，改变浸润性等。等离子体沉积薄膜可以作为反渗透膜(此种膜对通过的海水有较好的脱盐效果)。此外，低气压等离子体可用于金属固体表面加工。例如，等离子体刻蚀是利用辉光放电在气体中产生反应性气体，并与固体表面材料化合成挥发性物质，而在表面刻蚀出图象。这种方法在半导体元件生产中有重要用途。又如等离子体镀膜(又称离子镀膜)是将难熔的镀材或其他镀材蒸气在辉光放电中电离成低气压等离子体，并与相应的电离气体产生化学反应形成所需的化合物，经电场加速后沉积在负偏压的基体表面上，形成耐磨，耐高温的高强度膜层。