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1.超纯水电阻率:18.2 MΩ-cm@25℃ 2.高纯水电阻率:≥3 MΩ-cm 3.重金属离子:< 0.1ppb 4.总有机碳(TOC):<10 ppb 5.微生物/细菌:<1 CFU/ml 6.颗粒物(>0.22μm):<1/ml