集成电路测试仪的整体结构如图所示:
整个系统机械上采用插槽式结构，所有系统板都通过系统插槽插到机箱背板上，机箱背板上的系统内总线通过PCI接口板与计算机PCI总线相连。机箱背板上共涉及12个插槽，其中一个用于插系统控制板，一个用于插电源模块，其余10个是通用插槽，根据测试需要可以插任何一个系统版。被测器件DUT通过继电器矩阵板与测试仪连接，继电器矩阵板完成被测器件DUT与测试仪各通道之间的切换。测试仪通过PCI总线与计算机相连，整个系统的控制由计算机完成。该系统可以一次完成两个被测器件DUT的测试。
