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离子注入机其在国内外的发展现状

2018/06/19243 作者：佚名
导读： 目前，我国8英寸100纳米大角度离子注入机项目已成功实施，现在正着手研发下一代65纳米低能大束流离子注入机，同时，开发与之配套的工艺装备。

目前，我国8英寸100纳米大角度离子注入机项目已成功实施，现在正着手研发下一代65纳米低能大束流离子注入机，同时，开发与之配套的工艺装备。

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