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·精密的花岗石机座，悬臂式结构，包括高度(Z轴)调整装置
·高精度测台:采用稳定的整体式花岗岩制造，线性导轨，配有标准精密T型槽的测台上配有玻璃工作平台
·三轴金属光栅，数显精度0.1μm
·高分辨率CCD B/W摄像机
·远焦光路LED透射光源
·环形LED表面光源
·三轴CNC伺服电机控制系统
·高配置的控制和测量计算机
·正版Windows XP操作系统
·高精度大工作间距远焦平场1x物镜
·测量软件基础功能
