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X射线源是用Al或Mg作阳极的X射线管。 它们的光子能量分别是1486eV和1254eV 。 安装过滤器
(或称单色器)是为了减小光子能量分散。
样品室内的样品架安装有传动机构，不但可以做x，y和z三个互相垂直方向的移动。还可沿某一坐标轴作 一定角度的旋转。这样便于观察分析研究样品不同部位的情况。
电子能量分析器是X射线光电子能谱仪的关键组成部分。它 的作用是测 量电子能量分 布和不 同能量 电子的相对强度。电子能量分析器和电子倍增器系统完全由微型电子计算机控制。
