原子荧光光谱法是1964年以后发展起来的分析方法。原子荧光光谱法是以原子在辐射能激发下发射的荧光强度进行定量分析的发射光谱分析法。但所用仪器与原子吸收光谱法相近。

原子荧光光谱的产生:气态自由原子吸收特征辐射后跃迁到较高能级，然后又跃迁回到基态或较低能级。同时发射出与原激发辐射波长相同或不同的辐射即原子荧光。

原子荧光为光致发光，二次发光，激发光源停止时，再发射过程立即停止。

原子荧光的类型:原子荧光分为共振荧光、非共振荧光与敏化荧光等三种类型。

(1)共振荧光 发射与原吸收线波长相同的荧光为共振荧光。

(2)非共振荧光 荧光的波长与激发光不同时，称非共振荧光。 ? Ⅰ. 直跃线荧光，Ⅱ. 阶跃线荧光，Ⅲ. anti-stores荧光。Ⅰ和Ⅱ均为Stores荧光。)

(3)敏化荧光 受激发的原子与另一种原子碰撞时，把激发能传递给另一个原子使其激发，后者再从辐射形式去激发而发射荧光即为敏化荧光。

荧光猝灭受激原子和其他粒子碰撞，把一部分能量变成热运动与其他形式的能量，因而发生无辐射的去激发过程。