微腔体四极质谱管涉及对微波器件、阴极射线管(CRT)、场发射器件、光源等电真空器件进行残余气体分析的四极质谱管，包括四极质量分析器，离子源，离子检测器，其特征是:采用陶瓷金属化四极质量分析器(1)，其中，瓷管(1.2) 作为真空外壳，瓷管(1.2)内腔设有四极质量分析器的四根极杆(1.3)，在四极质量分析器(1)的两端面也设有金属化导电层(1.5)以避免电荷积累，金属电极引针(1.6)从金属化导电层(1.5)或四根极杆(1.3)内表面通过瓷管(1.2) 中的金属化孔(1.7)引出到真空瓷管(1.2)腔体外，四极质量分析器(1)的瓷管(1.2)与离子源(2)和离子检测器(3)的真空腔体之间的连接为金属- 陶瓷的真空密封连接。
