(一)、真空系统:2级真空:
机械泵和涡轮分子泵
机械泵一般时前级真空，也就是在机械泵把真空降到一定水平后才启动涡轮分子泵，以保护分子泵。所以仪器从大气压到真空合适的状态一般要经过一段时间的。
(二)、进样系统:
从分离装置来的组分(气体或者液体)或者从直接进样杆进液体或者固体样品。
(三)、离子源
离子源: 主要作用是使欲分析的 样品实现离子化，尤其是中性物质带上电荷。
样品本身性质的差异，决定了离子化的方式不能有万能的离子源，离子源的类型也是多种多样。
(四)、质量分析器
质量分析器是质谱仪的核心部件，因此常以质量分析器的类型来命名一台质谱仪。
( 五)、检测器:目前是光电倍增器应用较广。
( 六)、采集数据和控制仪器的工作站
