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气敏膜传感器技术工艺

2018/06/19111 作者：佚名
导读： 气敏元件性能与敏感功能材料的种类、结构及制作工艺密切相关。以金属氧化敏感材料制作的半导体式气敏元件具有灵敏度高，结构简单，体小质轻，坚固耐用等优点而得到广泛的应用，目前仍以SnO2材料为主。但近年来其他新型金属氧化物也不断开发，如ZnO、SiO2、TiO2、Fe2O3、WO3等。另外复合氧化物作为固体电解质材料也得到很好的利用。

气敏元件性能与敏感功能材料的种类、结构及制作工艺密切相关。以金属氧化敏感材料制作的半导体式气敏元件具有灵敏度高，结构简单，体小质轻，坚固耐用等优点而得到广泛的应用，目前仍以SnO2材料为主。但近年来其他新型金属氧化物也不断开发，如ZnO、SiO2、TiO2、Fe2O3、WO3等。另外复合氧化物作为固体电解质材料也得到很好的利用。

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