将被测长度直接转换为电量的传感器，主要有电感式、电容式、电接解式、压电式、磁栅式和感应同步器式等。图2为一种管式结构的电感式传感器的工作原理。当磁芯位于线圈1、2的中间位置时,两线圈产生的电感量相等。此时,由线圈1、2和振荡变压器次级线圈组成的电桥保持平衡。当带磁芯的测杆上下移动时，两线圈产生的电感量不等，电桥不平衡，有电压U0输出。U0的大小与测杆移动距离成比例。电感式传感器配以相应的电子放大和指示部分，便成为电感测微仪。电感式传感器的分辨率很高，可达0.01微米,测量范围一般小于2毫米，大的可达几十毫米。电容式传感器与电感式传感器的原理相似，一般是把线圈和磁芯换成固定极筒和可动极筒，当测杆移动时产生的是电容量变化。20世纪80年代初出现了用于电子卡尺的大量程电容传感器，测量范围为 150毫米。电接触式传感器是利用电触点副发出电信号判别被测尺寸合格与否的。电触点的移动可由测杆直接传来，也可经杠杆或其他机构放大，以提高其灵敏度。电接触式传感器主要用于自动测量中。压电式传感器是利用受压变形时会产生电荷的固体材料，例如石英晶体、锆钛酸铝、铌镁酸铝等作为转换元件的，主要用于轻便的上置式表面粗糙度测量仪中。