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a、显影不完全(Incomplete Development)。表面还残留有光刻胶。由显影液不足造成。
b、显影不够(Under Development)。显影的侧壁不垂直。由显影时间不足造成。
c、过度显影(Over Development)。靠近表面的光刻胶被显影液过度溶解，形成台阶。由显影时间太长造成。
