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显影液常见问题

2018/06/19204 作者:佚名
导读: a、显影不完全(Incomplete Development)。表面还残留有光刻胶。由显影液不足造成。b、显影不够(Under Development)。显影的侧壁不垂直。由显影时间不足造成。c、过度显影(Over Development)。靠近表面的光刻胶被显影液过度溶解,形成台阶。由显影时间太长造成。

a、显影不完全(Incomplete Development)。表面还残留有光刻胶。由显影液不足造成。

b、显影不够(Under Development)。显影的侧壁不垂直。由显影时间不足造成。

c、过度显影(Over Development)。靠近表面的光刻胶被显影液过度溶解,形成台阶。由显影时间太长造成。

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