皮拉尼真空计

热电偶真空计

热敏电阻真空计

定电流式灯丝的温度会随着真空压力的变化而变化，由于灯丝为高电阻温度系数材料，灯丝的温度的改变会导致灯丝电阻值发生变化，以电阻电桥的感测方式来测定电阻的改变就可以证明出真空压力的变化。 下图中惠斯通电桥中最右边有一感测头灯丝和一参考感测头灯丝。参考感测头有着与感测头极为相似的构造，但其内部已抽至相当高的真空状态并加以密封，并尽可能接近于感测头感测压力的位置，有着环境温度补偿的作用。电桥的另一边按顺序有着一可变电阻R₁和固定电阻R₂。该电桥并联与一电源上，并在两个感应头间和两个电阻间接驳一个平衡电流表G。 当感测头内的真空压力改变的时候，感测头灯丝电阻的阻值也会随着发生变化，将会导致电桥中的平衡电流表的读数不在为零而有所变化。此时可调整电桥中的可变电阻R₁，使平衡电流表的读数重新为零。当电源提供的电流恒定时，由电桥两段电压的变化，可以察觉到灯丝电阻的变化，经由是党的转换与校对工作就可以从跨接在电桥的电压表读出真空压力值。

定电压式当感应头里的灯丝上维持一定的电压时，灯丝的温度会随真空压力而发生变化。以真空压力变高时为例，此时热传导带走的热能增加，灯丝的温度会下降，由于灯丝为高电阻温度系数材料，灯丝的温度变低会导致灯丝的电阻值上升，当灯丝两段的电压不发生变化的时候，会使通过灯丝的电流降低，因此电流的减少也就证明出真空压力增高。反之，当真空压力变低时，由电流的增加可以证明出真空压力变低。