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建设工程知识

等离子刻蚀机等离子刻蚀的影响因素

2018/06/19189 作者：佚名
导读： –气压(Pressure)。–温度(Temperature)提高温度会提高刻蚀率。–Micro-loading–刻蚀后腐蚀(Post-etch corrosion)。–残留物(residual)。

刻蚀率

–气压(Pressure)。

–温度(Temperature)提高温度会提高刻蚀率。

–Micro-loading

–刻蚀后腐蚀(Post-etch corrosion)。

–残留物(residual)。残留物

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