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真空断路器的核心元件是真空灭弧室，真空灭弧到以真空作为灭弧和绝缘介质。真空灭弧室内具有很高的真空度，不存在可被电离的物质。
当灭弧室的动、静触头在操动机构的作用下带电分离时，在触头间将立即产生电弧，该电弧仅仅由触头材料的金属蒸汽构成。由于触头的特殊结构，在触头间隙中会产生纵磁场，纵磁场会促使真空电弧保持为扩散性。
在导通的电流自然经过零点时，残留在间隙中的电荷和金属蒸汽快速复合或凝聚，使动静触头间的绝缘强度快速建立，真空灭弧室因此恢复了绝缘能力以及耐受系统瞬态恢复电压的能力，最终将电弧熄灭。
