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1.真空系统组成:真空系统是获得真空度和测量控制真空度的组成部分,由真空测量系统和真空获得机组组成
2.真空度测量:真空度测量采用压力传感器进行测量该真空规采用压力应变实现真空度测量,测量数据为线形电信号,可直接输入设备控制器进行显示和控制