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氮气是电子封装，操作平台需要的保护气体，它的用量之大，要求之高，是生产控制经营成本必须重视的一个重要方面。
将操作平台排出含有油份和水份的气体，经罗茨风机升压，经过滤器除去大部分油份，进入活性碳过滤器，深度脱除油份，用分子筛除去水份，氮气由出操作平台时高油份、水份，经过除油、除水、氮气达到工作要求。最后将净化后的氮气送入操作平台。循环使用。
设备构成:
1、罗茨风机
2、过滤器
3、活性碳过滤器
4、吸附干燥塔
5、再生冷却器
6、压力自动控制系统
7、流量计、压力表、阀门、管道
8、电控柜
