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1 光栅线位移测量系统
利用光栅副产生光信号的原理由光栅线位移传感器感受线位移量并用光栅数显表显示其值的长
度测量单元。
2 测量系统分辨率
测量系统显示的最小长度计数单位。
3 测量系统细分误差
光栅栅距内莫尔条纹原始信号经测量系统分割或倍频后分割间距之间的最大误差。
4 误差峰–峰值
测量系统误差曲线上最高点与最低点之差。