荷电粒子在高频直线加速器中是用高频(或微波)电场的轴向分量进行加速。按采用的加速波分类，有行波与驻波两类。前者用圆柱波导作为加速结构，在其内沿轴周期性地设置圆盘负载，使波导中传播的相速小于或等于光速，以利同步地加速粒子，其加速场的模式为类-TM01，它在近轴区提供最大的轴向电场分量。后者采用圆柱形谐振腔，也沿轴周期性地设置电极(或称漂移管)负载，以提高有效加速电场强度，其加速场的模式为类-TM010，同样在近轴区提供最大的轴向电场分量。衡量加速结构性能的主要参数有两类:一是与加速效率有关的参量，特别是有效分路阻抗。它表示给定高频功率损耗，结构能建立多高的加速电场。分路阻抗的高低决定于选用的频率、结构的几何尺寸与形状及相邻加速单元间高频相位的变化量(工作模式)。通常频率越高，结构尺寸越小，分路阻抗和加速效率越高。二是加速结构的稳定性，它表征由于结构的误差和邻近非加速模式对束流的影响。对驻波加速结构，实现稳定性的主要途径是采用所谓的双周期结构，即除了由负载形成的周期性加速单元外，还引进周期性的耦合单元，调节耦合单元的位置和尺寸，便可提高结构的抗干扰性。