电子直线加速器是利用具有一定能量的高能电子(速度达到亚光速)与大功率微波的微波电场相互作用，从而获得更高的能量。这时电子的速度增加不大，主要是质量不断变大。(爱因斯坦相对论)。电子直接引出，可作电子线治疗。电子打击重金属靶，产生韧致辐射，发射X射线，作X线治疗。(原理与X光机相似，加速器使用透射靶。)
钨合金加速器的功用强大，但是它在治疗中产生的辐射也不容小觑。所以在设备中需要防辐射的装置比如:辐射头内除一挡用于均整X-辐射的均整过滤器外，还采用多挡使电子辐射分布均匀的散射钨合金过滤器。为了调节电子辐射野，在电子辐射治疗时需附加不同尺寸和不同形状的限束屏蔽装置。钨合金屏蔽装置的优点体现在钨的特殊性能。钨合金的高密度性能使的钨合金有很好的屏蔽X射线的效果，并且钨储量丰富便于开采，易加工无毒。
