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分子泵组特点

2018/06/19135 作者:佚名
导读: 复合式分子泵是涡轮分子泵与牵引分子泵的串联组合,集两种泵的优点于一体。泵在很宽的压力范围内((10-6~1Pa)具有较大的抽速和较高的压缩比,大大提高了泵的出口压力。

复合式分子泵是涡轮分子泵与牵引分子泵的串联组合,集两种泵的优点于一体。泵在很宽的压力范围内((10-6~1Pa)具有较大的抽速和较高的压缩比,大大提高了泵的出口压力。

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