经济和科技发达的国家和地区都有自己的空气洁净标准和规范标准，都规定了有关的洁净度等级，例如美国、日本、西欧、北欧、俄罗斯等。我国于1984年颁布《洁净厂房设计规范》(GBJ73-84)，1996年该规范进行了较大的修改，1990年颁布《洁净室施工及验收规范》(JGJ71-90)以指导施工和验收的重要文件。该规范在重新修订中。
GBJ73-84规定的洁净度等级等级 | 每立方米(升)空气中≥0.5μm尘粒数 | 每立方米(升)空气中≥5μm尘粒数 |
100 | ≤35*100 (3.5) | |
1000 | ≤35*1000(35) | ≤250(0.25) |
10000 | ≤35*10000(350) | ≤2500(2.5) |
100000 | ≤35*100000(500) | ≤25000(25) |
