表面轮廓仪仪器精度
2018/06/19148
作者：佚名
导读： 导轨直线性系统精度:≤0.2μm/100mm示值误差:0.6%-0.15%±3μm电感传感器分辩率/量程:1/65536X向光栅分辩率:1μm国产
导轨直线性系统精度:≤0.2μm/100mm
示值误差:0.6%-0.15%±3μm
电感传感器分辩率/量程:1/65536
X向光栅分辩率:1μm国产
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