世界上最早生产制氧机的国家是德国和法国。

1901年，德国的林德公司在慕尼黑市建立低温设备制造车间，并在1903年生产出第一台10m3/h制氧机。

1902年，法国在巴黎建立空气液化公司，继德国之后，于1910年开始生产制氧机。

在三十年代以前，基本上只有德国和法国能生产制氧机。当时制氧机主要只能满足焊接、切割用氧及化工所需的制氮设备。生产的制氧机为主要为中、小型，其容量为2m3/h~600m3/h，品种约200种。采用的制氧机流程为高压和中压流程。

1930~1950年，除德国、法国，尚有苏联、日本、美国、英国等国家也开始生产制氧机。在此期间，随着生产的发展，制氧机使用领域不断扩大，促进了大型制氧机的发展。由于大型制氧机每生产1m3氧气所需电力、金属材料都比中、小型底，故1930~1950年间，大型制氧机的品种增加较多，如西德的5000m3/h，苏联的3600m3/h，日本的3000m3/h等大型设备。当时所用的流程，除高、中压外，开始采用高低压流程。由于大型制氧机可制取廉价的氧气，从而在冶金和合成氨工业中得到应用。1932年，德国第一次把制氧机用于冶金和合成氨工业。

1950年以后，除上述国家生产制氧机以外，还有中国、捷克、东德、匈牙利、意大利等(中国发展较晚，且都为深冷法)。

由于钢铁工业、氮肥工业、火箭技术的发展，氧、氮耗量迅猛增加，促使制氧机向大型化发展。1957年起，10000m3/h制氧机相继问世。1967年起，据不 完全统计，20000m3/h以上的大型制氧机不断出现，达87套之多，最大机组为50000m3/h，更大型的机组正在研制中。

20多年来，产品品种迅速增加，并逐步形成了系列，如西德林德公司大型制氧机有1000~40000m3/h典型产品;日本神钢有OF系列;日本日立制作所有TO型;日本氧气公司有NR型;英国全低压有50~1500吨/天系列产品等。同时，大型制氧机基本上采用全低压流程。

总之，制氧机的发展是一个不段完善的过程，设备由小型、中型向大型发展;流程由高压(200大气压)、中压(50大气压)、高低压向全低压(6大气压)方向发展，从而使制氧机的单位电耗、金属材料消耗降低，运转周期不断延长。