主要用作光学玻璃、耐化学品涂料及耐热涂料和粘合剂 。还应用CVD和Sol-Gel法制备SiO2和含有SiO2组分的多组分氧化物。用来合成有机硅中间体，以及用于耐火粘接剂及精密铸造，用作室温硫化硅橡胶的交联剂。用于耐化学品腐蚀的涂料和耐热涂料，其水解产物可制造荧光粉。

CAS号 78-10-4

毒性防护 本品低毒，对呼吸道和眼睛有较强的刺激作用。吸入、口服或经皮肤吸收后对身体有害。对皮肤有刺激作用。其蒸气或雾对眼睛、皮肤、粘膜和呼吸道有刺激作用。接触后能引起头痛、恶心和呕吐。急性毒性:LD506279mg/kg(大鼠经口);5878mg/kg(兔经皮);人吸入，2130mg/m3，眼鼻刺激;人吸入851mg/m3，不引起肺、肾损害。

亚急性和慢性毒性:大鼠吸入，3404mg/m3×7小时/日×30日，死亡，肺、肾、肝均有病理变化

空气中最高容许浓度850mg/m3。生产现场防止粉尘飞扬，操作人员应穿戴防护用具。