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真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜,具体包括很多种类,包括真空蒸发镀膜机、真空多弧离子镀膜机、真空中频磁控溅射镀膜机、多功能中频磁控溅射多弧复合离子镀膜机、真空光学(电子束蒸发)镀膜机等系列真空镀膜设备。。主要思路是分成蒸发和溅射两种。