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水平臂复合陶瓷材料高刚性结构。由外罩、防尘罩以及随动罩组成的完全的保护。多传感器温度补偿系统以及强制的本体通风系统和完全的保护带来的高的温度不敏感性。通过软件对机器几何误差进行自动补偿。X和Y轴的移动部件在空气轴承上运动。Z轴配置由机械导轨及空气轴承组成的混合运动系统。所有各轴采用直流电机,Y及Z轴采用带传动,X轴采用齿轮齿条传动。气动控制的机械安全刹车装置实现中心滑架的自动锁紧,气动平衡系统位于滑架中心光学光栅尺读数头编译系统。