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氦气压缩机主要应用于半导体前道制程设备的蒸发、溅射和离子注入的真空系统,同时在天文、航天、医疗等领域也有广泛的应用。
氦气压缩机可以驱动不同尺寸的低温泵,按照法兰的口径分成:8英寸、10英寸和16英寸。
氦气压缩机也可以用于不同制造商生产的低温泵。