■规格:

类 型

类 别

最 大 尺 寸

坩埚类

LEC

8 inch

VGF

8 inch

MBE

8 inch

异形坩埚

板材类

圆形板材

8 inch

长舟

8 inch

绝缘板(MOCVD)

8 inch

涂层类

蒸发舟

石墨加热器

PBN/PG复合加热器

■主要参数:

性能

单位

数值

晶格常数

µm

a:2.504×10-10 c:6.692×10-10

表观密度

g/cm3

2.10-2.15(板材) 2.15-2.19(坩锅)

氦透过率

cm3/s

1×10-10

显微硬度(Knoop)(ab平面)

N/mm2

691.88

体积电阻系数

Ω·cm

3.11×1011

抗张强度 (力|| "C")

N/mm2

153.86

抗弯强度

(力|| "C")

N/mm2

243.63

(力⊥ "C")

N/mm2

197.76

弹性模量

N/mm2

235690

热传导率

W/m·k

"a"方向 "c"方向

(200℃)

W/m·k

60 2.60

(900℃)

W/m·k

43.70 2.80

介电强度(室温)

KV/mm

56