薄膜厚度测量薄膜厚度

2018/06/19320 作者：佚名

导读： 通常情况下，薄膜的厚度指的是基片表面和薄膜表面的距离，而实际上，薄膜的表面是不平整，不连续的，且薄膜内部存在着针孔、微裂纹、纤维丝、杂质、晶格缺陷和表面吸附分子等。因此薄膜的厚度大至可以分成三类:形状厚度，质量厚度，物性厚度。形状厚度指的是基片表面和薄膜表面的距离;质量厚度指的是薄膜的质量除以薄膜的面积得的厚度，也可以是单位面积所具有的质量(g/cm2);物性厚度指的是根据薄膜材料的物理性质

通常情况下，薄膜的厚度指的是基片表面和薄膜表面的距离，而实际上，薄膜的表面是不平整，不连续的，且薄膜内部存在着针孔、微裂纹、纤维丝、杂质、晶格缺陷和表面吸附分子等。因此薄膜的厚度大至可以分成三类:形状厚度，质量厚度，物性厚度。形状厚度指的是基片表面和薄膜表面的距离;质量厚度指的是薄膜的质量除以薄膜的面积得的厚度，也可以是单位面积所具有的质量(g/cm2);物性厚度指的是根据薄膜材料的物理性质的测量，通过一定的对应关系计算而得到的厚度。