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早在19世纪末就已经开始研究半导体硒中的光电现象,后来硒光电池得到应用,这几乎比晶体管的发明早80年,但当时人们对半导体还缺乏了解,进展缓慢。30年代开始的对半导体基本物理特性(如能带结构、电子跃迁过程等)的研究,特别是对半导体光学性质的研究为半导体光电子器件的发展奠定了物理基础。1962年,R.N.霍耳和M.I.内森研制成功注入型半导体激光器,解决了高效率的光信息载波源,扩展了光电子学的应用范围,光电子器件因而得到迅速发展。