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建设工程知识

R14质量标准

2018/06/19267 作者：佚名
导读： 产品质量标准(QUALITY STANDARD FOR CF4)指标名称高纯级优级品一级品含量，%(v/v) ≥99.9999.999氮气，%(v/v) ≤0.0020.030.3氧气，%(v/v) ≤0.00050.010.1水份，ppm ≤5510二氧化碳，ppm ≤510800氟化碳，ppm ≤1520-酸度，(HF)ppm ≤0.11-六氟化硫，ppm ≤--600

产品质量标准(QUALITY STANDARD FOR CF4)

指标名称

高纯级

优级品

一级品

含量，%(v/v) ≥

99.99

99.9

99

氮气，%(v/v) ≤

0.002

0.03

0.3

氧气，%(v/v) ≤

0.0005

0.01

0.1

水份，ppm ≤

5

5

10

二氧化碳，ppm ≤

5

10

800

氟化碳，ppm ≤

15

20

-

酸度，(HF)ppm ≤

0.1

1

-

六氟化硫，ppm ≤

-

-

600

*文章为作者独立观点，不代表造价通立场，除来源是“造价通”外。
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