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基本原理是用高速质子照射样品，质子与样品中的原子发生库仑散射。原子内层电子按一定几率被撞出内壳层，留下空穴，较外层电子向这个空穴跃迁时发射出特征X 射线。用探测仪器探测和记录这些特征X 射线谱，根据特征X 射线的能量可定性地判断样品中所含元素的种类，根据谱线的强度可计算出所测元素的含量。
