序号 项目 技术要求
1 最高温度/(℃) 300/1200/2400
2 程序升温重复性/(%) ≤1
3 程序升温速率偏差/(%) ≤10
4 相变温度测量精密度/(%)≤0.5
5 相变温度测量正确度/(%) ≤±0.5注:偏差量值<3℃
6 热膨胀系数测量精密度/(%) ≤4.0
7 热膨胀系数测量正确度/(%) ≤±15
序号 项目 技术指标
1 最大工作功率(kW) 4.0
2 最大升温速度(℃/min)3000(50℃~1200℃，真空)2700(50℃~1200℃，N2)
3 相变薄膜材料检测厚度(m)5×10-9
4 热膨胀分析绝对值(m)0.5×10-9
