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氯硅烷歧化反应法,此法利用如下氯硅烷的合成和歧化反应来获得硅烷:
Si + 2H2 + 3SiC14-->4SiHCl3
6SiHCl3-->3SiH2Cl2 + 3SiCl4
4SiH2Cl2-->2SiH3Cl + 2SiHCl3
2SiH3Cl-->SiH2Cl2 + SiH4
整个过程是闭路,一方投入硅与氢,另一方获得硅烷,因此排出物少,对环保环境有利,同时材料的利用率高。该方法已经实现千吨级规模生产水平。美国REC( 前身为Asimi) 采用该方法来制备硅烷气体。