是利用PN结隔离技术制备双极型集成电路倒相器的工艺流程,图中包括一个NPN晶体管和一个负载电阻R。原始材料是直径为75~150毫米掺P型杂质的硅单晶棒,电阻率ρ=10欧·厘米左右。其工艺流程是:先经过切片、研磨和抛光等工艺(是硅片制备工艺)制备成厚度约300~500微米的圆形硅片作为衬底,然后进行外延生长、氧化、光刻、扩散、蒸发、压焊和多次硅片清洗,最后进行表面钝化和成品封装。
制作双极型集成电路芯片需要经过 5次氧化,对氧化硅 (SiO2)薄层进行5次光刻,刻蚀出供扩散掺杂用的图形窗口。最后还经过两次光刻,刻蚀出金属铝互连布线和钝化后用于压焊点的窗口。因此,整套双极型集成电路掩模版共有 7块。即使通常省去钝化工艺,也需要进行6次光刻,需要6块掩模版。