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利用高压、高速和定向流动的油蒸气射流抽气的真空泵。这种泵的极限压力约10-2帕,工作压力范围一般为1.0~10-1帕,抽气速率范围为几百到几万升每秒,最大反压力为几百帕,是获得中真空的主要设备之一。油扩散喷射泵广泛用于真空冶炼、空间模拟试验、真空镀膜和对油污染不敏感的一些真空系统中。在真空系统中,它可以用作为主抽泵,也可串联在油扩散泵与机械真空泵之间,用来提高抽气系统在中间压力范围的抽气量和降低前级机械真空泵的抽速容量。因此它又常称为油增压泵。