同油扩散泵一样，它也由扩散喷嘴、喷射喷嘴、泵体、扩散器、油锅、蒸气导管、冷却系统和加热器等部分组成（见图）。但在性能和泵的结构上，它同油扩散泵有不同之处。两者的极限真空不同,油扩散泵为10-4～10-5帕以至低于10-5帕,而油扩散喷射泵则为10-2帕。油扩散泵在10-1～10-4帕压力范围内要求有满抽速，而油扩散喷射泵则要求在1～10-1帕压力范围内有满抽速。如两者名义抽速相同，后者的排气量就比前者大。油扩散泵装设有分馏和净化装置，而油扩散喷射泵不但不要装分馏和净化装置，还要采用较大的加热功率加热和采用沸点低、饱和蒸气压高的泵油，致使油扩散喷射泵的油锅蒸气压比扩散泵大数倍或数十倍，即高达数百帕以至数千帕。油扩散喷射泵需要装设大扩张率(喷嘴的出口面积与其喉部面积之比)的喷射喷嘴和长的扩散器来提高泵的前级反压力，这样泵就能稳定地在10-1～1帕压力范围或在更高一点的压力范围工作。因此，油扩散喷射泵是兼具油扩散泵和喷射泵（见水蒸汽喷射真空泵）抽气性能的真空泵。 　在工作中，为了防止泵油的氧化，油扩散喷射泵的启动也与油扩散泵一样,要用前级泵预抽到1帕真空，油锅才可开始加热。