盖德回转水银真空泵即降低容器或腔室内的压力以形成真空的设备。降低压力的基本方法有两种:用物理法从容器内排出气体分子并从系统中排掉;或者从气相中除去气体分子,但保留在系统中,例如成为液体,真空泵有:油旋转泵,由圆柱形缸体(称定子)和在缸内转动的圆柱体转子组成。
自流的油保证了气密、润滑、并使泵冷却。泵运转时将转子和定子间的气体从进气口驱到排气口排掉。回转鼓风机或称机械增压泵,依靠驱动一个或几个装有叶片、桨叶或轮翼的迅速转动的旋转体排出气体。罗茨鼓风泵,是回转鼓风机的一种特殊形式,装有2个"8"字形相互啮合的转子。蒸气泵,没有转动件,从泵的进口流向出口的蒸气流将气体分子从系统中排出。扩散泵,与蒸气喷射泵类似,但在捕捉气体分子方式上有所不同。在扩散泵中,只有扩散到泵内的分子受到蒸气的作用;在蒸气喷射泵中,则气体被抽到蒸气膨胀所造成的低压区。分子泵,通过迅速转动的表面,将动量传递给气体分子。在进气口和排气口间没有机械性密封,也不需要会给本系统带来污染的工作气体。此外还有低温泵、吸附菜、溅射离子泵、钛升华泵共20种。
5月26日是水银真空泵的发明者、德国吹玻璃工人盖斯勒(1815-1879)的诞生纪念日。以他的姓氏命名的有盖斯勒泵和盖斯勒管。