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建设工程知识

三氟甲烷主要用途

2018/06/19252 作者：佚名
导读： 1.用作超临界萃取法溶剂、低温制冷剂。及作为灭火剂和制造四氟乙烯的原料，电子工业等离子体化学蚀刻剂及氟有化合物的原料。2.电子级氟仿是微电子工业广泛应用的等离子蚀刻气体之一，尤其是对二氧化硅膜的刻蚀，具有刻蚀速度快，选择性好的优点。此外，氟仿还用于低温混合制冷剂、有机合成中间体、红外检测器直接冷却剂等。3.用作低温致冷剂及作为灭火剂和制造四氟乙烯的原料。[19]

1.用作超临界萃取法溶剂、低温制冷剂。及作为灭火剂和制造四氟乙烯的原料，电子工业等离子体化学蚀刻剂及氟有化合物的原料。2.电子级氟仿是微电子工业广泛应用的等离子蚀刻气体之一，尤其是对二氧化硅膜的刻蚀，具有刻蚀速度快，选择性好的优点。此外，氟仿还用于低温混合制冷剂、有机合成中间体、红外检测器直接冷却剂等。3.用作低温致冷剂及作为灭火剂和制造四氟乙烯的原料。[19]

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