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1、极限真空(通常称为真空度):将真空泵与检测容器相连，放入待测的气体后，进行长时间连续抽气，当容器内的气体压力不再下降而维持某一定值时，此压力称为泵的极限真空。该值越小则表明越接近理论真空。
普通真空表测得的真空值(即:表压)为相对真空度，用负数表示，是指被测气体压力与大气压的差值。可以由下图看出。
2、抽气速率:在真空泵的吸气口处，单位时间内流过的气体体积。
传统工业用真空泵体积普遍很大，而且泵的工作需要特殊的真空泵油和润滑机油，介质气体内会含有大量油雾。
